HORIBA - ELIPSOMETRIA ESPECTROSCOPICA

Con la creciente necesidad de caracterizar sistemas de varias capas y multicompuestos en los últimos años, las áreas que demandan la utilización de la elipsometría espectroscópica están en aumento. Los tratamientos de superficie, semiconductores, investigación de materiales avanzados, y la investigación de los fenómenos físico-químicos en las interfaces requieren técnicas no destructivas y muy sensibles de caracterización de películas delgadas.HORIBA Scientific ofrece una amplia gama de Elipsómetros Espectroscópicos de alto rendimiento y versatilidad. Estos, han sido resultado de la colaboración con prestigiosos laboratorios; son utilizados alrededor del mundo en universidades, centros de investigación y en la producción de semiconductores y pantallas LCD, LED etc.

DefiniciÓN

La Elipsometría espectroscópica es una técnica óptica que mide los cambios en el estado de polarización de la luz reflejada desde la superficie de la muestra. La sensibilidad y precisión de la técnica establecen los estándares para la caracterización de películas delgadas, de superficie así como de la interfaz con una resolución de angstroms.

INFORMACIÓN OBTENIDA

- Espesor de películas delgadas desde unos pocos angstroms a decenas de micras.
- Constantes ópticas (n, k), bandgap óptico.
Además del espesor de las películas delgadas y caracterización de las constantes ópticas, el análisis por elipsométria proporciona información rica en propiedades de los materiales tales como anisotropía, gradiente, morfología, cristalinidad, composición química y conductividad eléctrica.

Ventajas

Técnica No destructiva y de No Contacto.Muy sensible, especialmente para películas ultradelgadas (<10 nm).

Alta resolución espacial

Monitoreo In situ en tiempo real de la deposición o grabado de películas delgadas, rápidas mediciones cinéticas.
Mapeo automático de muestras para áreas uniformes.
No se requiere preparación de la muestra.
Fácil de usar.

New UVISEL 2 Scientific Spectroscopic Ellipsometer HORIBA Scientific ha inventado la nueva generación de elipsómetría espectroscópica de aplicación científica que ofrece el más alto nivel de rendimiento para nano y micro caracterización de capas. Incluye la más amplia gama de funciones automatizadas e integradas útiles para la investigación de toda la familia de materiales. UVISEL Spectroscopic Ellipsometer covering a range from FUV to NIR La gama elipsómetro UVISEL ofrece la mejor combinación de modularidad y rendimiento para la caracterizacion de películas delgadas. Basado en la tecnología de modulación de fase, los ellipsometers UVISEL ofrece alta precisión y mediciones de alta resolución con una excelente relación señal a ruido. New UVISEL 2 VUV. Un elipsómetro espectroscópico versátil que cubre lla gama desde VUV a NIR La VUV UVISEL 2 es una nueva generación de elipsómetro por modulación de fase para mediciones VUV. Es el único elipsómetro espectroscópico en el mercado diseñado para proporcionar las mediciones de película delgada más rápido co el rango de longitud de onda más grande, 147 a 2100 nm. Auto SE, Simple Thin Film Measurement Tool! El SE Auto es una nueva herramienta de medición de película fina que permite el análisis totalmente automático de muestras de película delgada con solo pulsar un boton. Smart SE (Powerful and cost-effective spectroscopic ellipsometer) El Smart SE de HORIBA Scientific es una elipsómetro espectroscópico versátil para mediciones de películas delgadas rápido y preciso. Permite caracterizar espesor de películas delgadas desde unos pocos Angstroms hasta 20μm, las constantes ópticas (n, k), y las propiedades estructurales de película como: (roughness, optical graded and anisotropic layers, etc).